टंगस्टन फिलामेंट स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप, इको। एसईएम, 15x ~ 250000x
उत्पाद वर्णन
A63.7062 टंगस्टन फिलामेंट स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोप, पारिस्थितिकी। सेम | ||
संकल्प | 4.5nm@30KV (एसई); 6एनएम @ 30 केवी (बीएसई) | |
बढ़ाई | नकारात्मक आवर्धन: 15x ~ 250000x; स्क्रीन आवर्धन: 30x ~ 500000x | |
इलेक्ट्रॉन गन | टंगस्टन गरम कैथोड-पूर्व केंद्रित टंगस्टन फिलामेंट कार्ट्रिज | |
त्वरित वोल्टेज | 0~30KV | |
लेंस सिस्टम | तीन-स्तरीय विद्युत चुम्बकीय लेंस (पतला लेंस) | |
उद्देश्य एपर्चर | मोलिब्डेनम एपर्चर एडजस्टेबल आउटसाइड वैक्यूम सिस्टम | |
नमूना चरण | फाइव एक्सिस स्टेज | |
यात्रा रेंज | एक्स (ऑटो) | 0 ~ 50 मिमी |
वाई (ऑटो) | 0 ~ 50 मिमी | |
जेड (मैनुअल) | 0 ~ 25 मिमी | |
आर (मैनुअल) | 360o | |
टी (मैनुअल) | -5o~90o | |
अधिकतम नमूना व्यास | १५०मिमी | |
डिटेक्टर | एसई: हाई वैक्यूम सेकेंडरी इलेक्ट्रॉन डिटेक्टर (डिटेक्टर प्रोटेक्शन के साथ) | |
परिवर्तन | स्टेज अपग्रेड; ईबीएल; एसटीएम; एएफएम; हीटिंग स्टेज; क्रायो स्टेज; तन्य चरण; माइक्रो-नैनो मैनिपुलेटर; एसईएम + कोटिंग मशीन; एसईएम + लेजर | |
सामान | सीसीडी, एलएबी 6, एक्स-रे डिटेक्टर (ईडीएस), ईबीएसडी, सीएल, डब्ल्यूडीएस, कोटिंग मशीन | |
वैक्यूम प्रणाली | टर्बो आण्विक पंप, रोटेशन पंप | |
इलेक्ट्रॉन बीम करंट | 10pA~0.1 |
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